直径:(150 ± 0.25) mm
厚度:10~20mm
导电类型:n-type
晶面取向:(0001) 向 [11-2 0]偏4度
产品类型:晶锭
产品分级 | “P” 工业级 | “R” 研究级 | “D” 测试级 |
晶型 | 4H | ||
直径 | (150.0 ± 0.5) mm | ||
厚度 | ≥15mm | ||
导电类型 | n-type | ||
掺杂元素 | Nitrogen | ||
电阻率范围(Ω·cm) | 0.015 – 0.028 | 0.015 – 0.028 | 0.015 – 0.028 |
微管密度 | ≤0.5 cm-2 | ≤2 cm-2 | ≤20 cm-2 |
表面取向 | {0001} ± 0.2° | ||
偏轴 | 4° toward [11-20] ± 0.5° | ||
主参考边取向 | // [11-20] ± 5.0° | ||
主参考边长度 | 47.5 mm ± 2.0 mm | ||
副参考边取向 | NA | ||
副参考边长度 | NA | ||
包装 | 单锭包装,真空包装 | ||
边缘裂纹(强光灯观察) | ≤1mm in radial,Qty≤3ea | ≤1mm in radial,Qty≤5ea | ≤3mm in radial,Qty≤5ea |
六方空洞(强光灯观察) | size < 1mm, Cumulative area < 1% | size < 1mm, Cumulative area < 3% | Cumulative area < 5% |
多型区(强光灯观察) | 无 | Cumulative area ≤ 3% | Cumulative area ≤ 5% |
碳包裹物(日光灯观察) | Cumulative area≤0.05% | Cumulative area≤3% | Cumulative area≤5% |
崩边/缺口(日光灯观察) | ≤1ea, ,≤1mm width and depth | ≤2ea, ,≤2mm width and depth | ≤5ea, ,≤2mm width and depth |